日期:2013-01-16 09:48
品名:石墨舟承载车
价格:未填
品牌:东中机械
发货:3天内
联系方式
公司:苏州东中机械设备有限公司
发信:点此发送
姓名:高明军(先生)
电话:0512-68838965
手机:13004508918
传真:0512-68838965
地址:苏州工业园区扬和路创投工业坊15A
邮编:215000
邮件:gmj@dzprc.com
详细介绍
本设备是用于Centrotherm的E2000HT 410-4(4)型PECVD配套,取出Centrotherm的21片标配石墨舟,旋转180便于装硅片,同时能用于石墨舟装片房装取硅片,用于石墨舟冷却房对石墨舟进行冷却。
材质：主要为ss304不锈钢或铝合金等整体组装方式。
结构： 要求结构稳定，设有防倒防撞设计。
控制：采用可调式气压缓冲器，冲击小，平稳。
功能：装载平台可水平旋转180度，并能可靠定位；平台可 倾斜5-30度，便于装载工件；石墨舟能方便可靠的放置于装载平台；能实现与E2000HT 410-4(4)型PECVD的准确定位。