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可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
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功能 |
流量计/控制器 |
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基本型号 |
LF400-S |
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满量程流量范围(N2) |
SCCM |
0～5，10，20，30，50，100，200，500 |
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SLM |
0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 |
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精度(％F.S) |
±1(≤15SLM) |
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±1.5(＞15SLM.) |
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控制阀动作型式 |
常闭式 |
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线性(％F.S.) |
±0.5～1(≤15SLM) |
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±1.5％(＞15SLM.) |
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重复精度(％F.S.) |
±0.2 |
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响应时间(sec) |
≤1 |
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流量输出信号 |
0-+5.00V |
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流量设定信号 |
0-+5.00V |
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电器接头 |
DB15 pin(接头) |
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工作环境温度 |
(℃) |
5～45 |
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工作压差 |
(MPa) |
0.1～0.5 |
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漏率 |
SCCSHe |
1×10-9 |
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最大耐压 |
3MPa |
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介质接触材质 |
304，316，316L |
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密封材料 |
氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯 |
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接头 |
VCR " 1/4、1/2 |
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Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm |
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接头和尺寸 |
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm |
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电源要求 |
+15V,50mA;-15V,200mA |
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重量 |
1.0KG |
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